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供气系统 4路质子 GMF-4Z 触摸屏控制

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供气系统 4路质子 GMF-4Z 触摸屏控制

  • 所属分类:真空及供气系统

  • 点击次数:
  • 发布日期:2019/07/26
  • 规格:
  • 类型:
  • 在线询价
  • 详细介绍

 该供气系统是一种可控制四种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制,此款设备能与各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

 

 

配置组件
技术参数
质量流量控制器
工作电压:
185~245V 50HZ
最大输出功率:
18W
流量计标准量程:
100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)
工作温度:
5~45℃
工作压差:
0.1~0.5MPa
最大压力:
3MPa
准确度:
±1.5% FS
机械压力表
测量范围:
-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
针阀
316不锈钢
混气罐
Φ80×120mm
截止阀
Φ6mm”316不锈钢针阀
尺寸
600×600×650 mm


本文网址:http://www26118.com/product/1153.html

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